PRODUCT
產品
主要用途
半導體生產設備中的氣體流量測控，防泄漏要求高的生產線。
標準參數
| 測量對象 | 全部液體，全部氣體 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 空氣 | 最小范圍：5~50L/min(nor) | |
| 最大范圍：6~60L/min(nor) | |||
| 水 | 最小范圍：5~50mL/min | ||
| 最大范圍：0.2～2L/min | |||
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· 空氣在0°C，0Mpa(1atm)的流量。 · 選擇流量范圍時，請到官網下載中心下載本產品PDF，參照標準流量表。 · 如果氣體的使用壓力不為0MPa，請電話咨詢。 |
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| 有效刻度范圍 | 10：1 | ||
| 有效指示精度 | P-813：±3％ F.S. | ||
| P-812：±5％ F.S. | |||
| 最高使用溫度 | 120℃ （使用FPM時） | ||
| 材質 | 本體接液部 | SCS14（標準）, SUS316（亦可，詳情請咨詢） | |
| 錐管 | 耐熱玻璃 | ||
| 墊圈 | FPM（最高120℃） | ||
| CR（最高80℃） | |||
| 本體側板 | SUS304 | ||
| 面板 | 透明PVC | ||
| 連接方式 | 標準 | Rc1/4 | |
| 可選 | Rc1/8 | ||
| NPT1/4 | |||
| 1/4SW, 3/8SW | |||
| 1/4VCR, 3/8VCR | |||
| 安裝方法 | 標準 | 面板前安裝六角螺母 | |
| 可選 | 安裝遮光板 | ||
| 重量（標準型） | 約0.6kg（P-813） | ||
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