PRODUCT
產品
主要用途
半導體生產設備
標準參數
| 測定對象 | 水，所有氣體 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 空氣 | 最小：4 ～ 20 mL/min（nor） | |
| 最大：12 ～ 60 L/min（nor） | |||
| 水 | 最小：5 ～ 50 mL/min | ||
| 最大：0.2 ～ 2 L/min | |||
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· 空氣在0°C，0Mpa(1atm)的流量。 · 選擇流量范圍時，請到官網下載中心下載本產品PDF，參照標準流量表。 · 氣體的使用壓力不為0MPa，請電話咨詢。 |
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| 有效刻度范圍 | 10：1（一部分為10：2） | ||
| 有效指示精度 | P-823：±3 ％ F.S. | ||
| P-821：±5 ％ F.S. | |||
| 最高使用壓力 | 0.8 MPa | ||
| 最高使用溫度 | 120℃ | ||
| 材質構成 | 本體接液部 | SCS14（標準）, SUS316（SUS316L亦可） | |
| 錐管 | 耐熱玻璃 | ||
| 墊圈 | FPM（最高120℃） | ||
| CR（最高80℃） | |||
| 本體側板 | SPCC，C2801P | ||
| 面板 | 亞克力 | ||
| 連接方式 | 標準 | Rc1/4 | |
| 可選 | Rc1/8 | ||
| NPT1/4, NPT1/8 | |||
| 1/4SW , 3/8SW | |||
| 1/4VCR, 3/8VCR | |||
| 安裝方法 | 標準 | 面板前安裝六角螺母 | |
| 可選 | 安裝遮光板 | ||
| 重量（標準型） | 約0.6kg（P-821） | ||
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