PRODUCT
產品
主要用途
適用于半導體制造裝置冷卻水生產線等
標準參數
| 測量對象 | 全部液體（水相當） | ||
|---|---|---|---|
| 流量范圍 | 水 | 最小：0.1 ～ 1 L/min | |
| 最大：1.5 ～ 7 L/min | |||
| 有效刻度范圍 | 10：1 （部分為10：2） | ||
| 有效指示精度 | ±10 ％ F.S. | ||
| 最高使用壓力 | 1 MPa | ||
| 最高使用溫度 | 130 ℃ | ||
| 材質 | 本體接液部 | SCS14/SUS304 | |
| 錐管 | 耐熱玻璃 | ||
| 墊圈 | FPM | ||
| 側板 | 鋁 | ||
| 面板 | 亞克力 | ||
| 連接方式 | 標準 | 3/8SW | |
| 可選 | Rc3/8 | ||
| NPT3/8 | |||
| 安裝方法 | 標準 | 面板前安裝螺絲固定 | |
| 重量（標準型） | 約0.5kg | ||
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